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該設備為光學膜系專用真空鍍膜設備，匹配高、低溫環境獲得功能，光學膜厚檢測功能，雙離子輔助沉積功能，能進行多種光學膜系工藝制備，在窄帶濾光膜工藝制備方面有著不俗表現。設備穩定性好，鍍膜重復性高。
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SXZ1300-1/G箱式真空鍍膜系統（電子束蒸發）
SXZ800-1/G箱式真空鍍膜系統（電子束蒸發）
真空機組
真空釬焊爐
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